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半導體廢氣處理設備案例
半導體廢氣處理設備我們公司一直在做的，有著(zhù)豐富的實(shí)戰經(jīng)驗和產(chǎn)品設計制造能力，支持視頻驗廠(chǎng)，歡迎實(shí)體考察。
半導體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過(guò)程中，這些有機溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，焚燒這種處理凈化方式較為適用于這種氣體排放。
一般半導體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采用噴淋塔先對廢進(jìn)行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段，比較常見(jiàn)而有效方法有：UV光解，生物過(guò)濾分解，焚燒和催化燃燒等。
半導體廢氣處理廠(chǎng)主要廢氣有非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類(lèi)，成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
我們可以采用組合形式的來(lái)進(jìn)行治理。UV光解凈化器，催化燃燒設備等廢氣治理設備，我們公司都有，歡迎咨詢(xún)。
