等離子廢氣處理設備為減少化工廠(chǎng)、或其它工業(yè)中產(chǎn)生的廢氣及對環(huán)境的影響，設備將廢氣密封、收集處理。

廢氣分子先經(jīng)過(guò)波段紫外光波破碎分子，打斷其分子鏈；同時(shí)，通過(guò)分解空氣中的氧和水，臭氧，臭氧進(jìn)一步吸收能量，形成氧化性能的自由羥基，氧化廢氣分子。同時(shí)根據不同的廢氣成分配置多種復合惰性催化劑，提高廢氣處理的速度和效率，從而達到對廢氣進(jìn)行凈化的目的。

一、廢氣處理裝置經(jīng)試運轉后，應將調節閥門(mén)固定或作出標志，不應隨意改動(dòng)。若一個(gè)處理系統連接幾個(gè)排氣點(diǎn)時(shí)，在某一排氣點(diǎn)的工藝設備停止運轉時(shí)，該排氣罩也不宜關(guān)閉，以免改變其他排氣覃的排風(fēng)量。

二、一般廢氣處理裝置應在工藝設備啟動(dòng)之前啟動(dòng)，在工藝設備停止運行數分鐘之后再關(guān)閉，以防廢氣未處理擴散到大氣中。

三、日常維護的主要任務(wù)是觀(guān)察設備、管道、排氣罩;清掃孔、觀(guān)察孔等處的漏風(fēng)、調節好系統的供液量、風(fēng)量和風(fēng)壓，排除可能產(chǎn)生故障的隱患。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現低溫狀態(tài)，所以也稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時(shí)間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

如果低溫等離子出現打火現象，處理效率更會(huì )急劇下降的。因此，通道上布滿(mǎn)密集的放電點(diǎn)，低溫等離子設備在不拉弧以及不打火的情況下，才能夠承受并達到足夠的處理功率，才能有足夠的能量打開(kāi)的廢氣分子鍵。